세계 최초로 개발해 삼성전자에만 납품해 온 반도체 관련 기술인 '초임계 세정 장비'를 중국에 납품한 혐의로 삼성전자 자회사의 전직 연구원 등이 구속됐다.
수원지검 방위사업·산업기술범죄형사부(이춘 부장)는 부정경쟁방지 및 영업비밀보호에 관한 법률 등 혐의로 A씨 등 세메스 전 연구원 2명과 부품 협력사 직원 2명을 구속 기소했다고 17일 밝혔다.
A씨 등 세메스 전 연구원 2명은 세메스가 2018년 세계 최초로 개발한 '초임계 세정 장비' 제조 기술을 빼낸 혐의를 받고 있다.
초임계 세정 장비는 초임계(액체와 기체를 구분할 수 없는 상태) 이산화탄소로 반도체 기판을 세정하는 설비로, 기판 손상을 최소화해 수율을 높이는 것으로 알려졌다.
A씨 등은 퇴직 후인 2018년 중국의 한 연구소와 접촉해 초임계 세정 장비를 그대로 만들어 줄 수 있다며 생산 설비가 없는 상태에서 18억여 원을 받은 것으로 파악됐다.
이들은 중국과 합작 회사를 만든 뒤 협력사로부터 부품을 납품받아 장비를 제조해 중국에 넘겼으며, 지금까지 모두 800억 원을 받은 것으로 조사됐다.
이들은 독자 기술로 동일 장비를 만들어 중국 측에 정상 판매한 것이라며 혐의를 부인한 것으로 전해졌다.
검찰은 이 설비가 삼성전자의 '맞춤형' 장비인 만큼 독자 기술로 만들어 내는 것은 불가능하다고 보고 기술 유출 전반을 설계한 주범에 대한 수사를 조만간 마무리할 예정이다.