산업통상자원부는 성윤모 장관이 미국 실리콘밸리에서 존 켐프 듀폰사 사장을 만나 듀폰사의 EUV용 포토레지스트 한국 투자를 최종 확정했다고 9일 밝혔다.
듀폰사는 현재 한국내 자회사인 롬엔드하스전자재료코리아(유)를 통해 충남 천안에 공장 2곳을 두고 포토레지스트 등을 생산해왔다.
그러나 생산중인 포토레지스트는 KrF(불화크립톤)용, ArF(불화아르곤)용 포토레지스트로, 반도체 웨이퍼 위에 회로를 새기는 빛의 파장이 각각 248nm, 193nm로 비교적 길다.
파장이 길게 되면 회로를 미세하게 그리지 못해 초소형 반도체를 만들 수 없다. 그러나 극자외선을 이용하게 되면 차세대 반도체로 떠오르고 있는 7nm 반도체 등을 만들 수 있다.
듀폰사의 이번 투자는 바로 극자외선용 포토레지스트를 생산하는 것으로, 올해와 내년에 걸쳐 충남 천안에 2,800만달러를 투자하기로 했다.
지난 7월 이후 이어지고 있는 일본의 수출규제 대상 품목 가운데 포토레지스트가 국내 반도체 산업에 가장 큰 영향을 미치고 있다. KrF나 ArF의 경우 국내 업체들도 포토레지스트를 만들어 내고 있지만 극자외선용 포토레지스트까지는 손대지 못하고 있는 실정이기 때문이다.
특히 반도체 산업이 7nm 반도체 등 초미세 반도체 쪽으로 옮아가면서 극자외선용 포토레지스트 수요가 증가하는 상황이기 때문에 일본의 포토레지스트 수출규제는 적지 않은 타격을 줄 것으로 예상돼왔다. 포토레지스트는 현재 JSR, 신에쓰, 도쿄오카공업(TOK) 등 일본 기업이 세계 시장의 90% 이상을 차지하고 있다.
산업부는 "일본의 수출 규제 이후 핵심 소재‧부품‧장비에 대한 공급 안정화를 위해 글로벌 기업인 듀폰사와 직접 접촉해 투자유치를 협의해왔다"며 "정부와 해당 지자체는 투자 부지에 대한 외국인투자지역 지정과 임대료 감면 등의 인센티브를 차질없이 부여하도록 노력할 예정"이라고 밝혔다.
산업부는 또 "극자외선용 포토레지스트는 현재 주로 일본으로부터 수입에 의존하고 있으나, 이번 투자유치를 통해 미국, EU 기업으로 동 품목의 공급선을 다변화 하는데 기여할 수 있다는 점에서 의의가 매우 크다"며 "이번 투자를 통해 국내기업과의 상생협력 및 소재‧부품‧장비 산업경쟁력 강화에 기여할 것으로 기대한다"고 설명했다.
듀폰사는 극자외선용 포토레지스트 개발과 생산을 위해 앞으로 한국 내 주요 수요업체와 제품 실증테스트를 진행하는 등 긴밀히 협력해 나갈 계획이다.