삼성전자에 따르면 지난 9월18일 보상금 지급 절차가 시작된 후 지금까지 105명이 보상금을 신청했고 보상위원회 심의를 거쳐 보상금을 수령한 사람이 48명인 것으로 집계됐다.
보상금 지금은 피해자의 보상금 신청→보상위원회의 보상금 지급 심의→지급 결정→보상위원회의 피해자 방문→피해에 대한 유감표명과 보상지연에 대한 사과→보상금 지급 순으로 이뤄지고 있다. 피해 당사자의 반대로 보상금 지급절차가 지연되는 경우도 있는 것으로 알려졌다.
삼성전자가 마련한 사과문에는 '발병자와 가족의 아픔을 헤아리는데 소홀한 부분이 있었으며 진작 이 문제를 해결했어야 하는데 그러지 못했다. 진심으로 사과 드린다'는 내용이 담겼고 보상금을 신청한 피해자들은 사과의 진정성을 느낄수 있다는 반응을 보였다.
삼성전자는 전체 보상 대상자 수는 지금까지 보상금 지급을 신청한 105명 외에 수십 명이 더 있을 것으로 파악하고 있지만 200명에는 이르지 않을 것으로 보고 있다. 삼성전자는 올 연말까지 추가 보상신청을 접수하고 신청이 접수되는대로 지급절차를 거쳐 지급한다는 입장이다.
삼성전자의 보상은 반도체 사업장에서의 백혈병 등 질환 발병과 관련한 문제 해결을 위한 조정위원회가 지난 7월23일 제시한 조정권고안의 보상 원칙과 기준에 따라 진행중이다. 보상과 발병의 인과관계는 무관하다.